| 微机电系统的研究与展望 |
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| 引用本文： | 林忠华,胡国清,刘文艳,张慧杰.微机电系统的研究与展望[J].微电子学,2005,35(1):71-75. |
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| 作者姓名： | 林忠华 胡国清 刘文艳 张慧杰 |
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| 作者单位： | 1. 厦门大学,机电工程系,福建,厦门,361005;集美大学,信息工程学院,福建,厦门,361021
2. 厦门大学,机电工程系,福建,厦门,361005 |
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| 摘 要： | 微机电系统是面向2l世纪的高新技术。文章对微机电系统产生的背景、组成特征、发展现状及应用前景进行了全面分析。在此基础上，论述了MEMS未来发展的趋势。
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| 关 键 词： | 微机电系统 硅微细加工 微传感器 微执行器 |
| 文章编号： | 1004-3365(2005)01-0071-05 |
The Development of Micro-Electro-Mechanical System and Its Prospect |
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| LIN Zhong-hua,HU Guo-qing,LIU Wen-yan,ZHANG Hui-jie.The Development of Micro-Electro-Mechanical System and Its Prospect[J].Microelectronics,2005,35(1):71-75. |
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| Authors: | LIN Zhong-hua HU Guo-qing LIU Wen-yan ZHANG Hui-jie |
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| Abstract: | Micro-electro-mechanical system (MEMS) is one of the high technologies in the 21st century. The background and characteristics of MEMS are presented. The state-of-the-art of MEMS is described and its application prospect is analyzed. Further more,an overview of the future development of MEMS is made. |
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| Keywords: | Micro-electro-mechanical system Si micromachining Micro-sensor Micro-actuator |
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