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智能集成传感器系统的研究进展
引用本文:周再发,秦明,张中平,黄庆安.智能集成传感器系统的研究进展[J].微电子学,2003,33(5):428-431.
作者姓名:周再发  秦明  张中平  黄庆安
作者单位:东南大学,MEMS教育部重点实验室,江苏,南京,210096
摘    要:介绍了具有高级智能,即含有微控制器的集成传感器系统的基本结构,其硬件、软件实现方式,以及这种高智能集成传感器系统的发展给传感器系统设计带来的影响。讨论了根据不同需要,采用适当的通信方式,以扩大高智能集成传感器系统的应用范围。给出了典型的例子,介绍了国外智能集成传感器系统研究的最新进展。

关 键 词:智能集成传感器  MEMS  微控制器  单片集成化  软件设计  数据通信
文章编号:1004-3365(2003)05-0428-04
修稿时间:2002年9月23日

Latest Development of the Smart Integrated Sensor System
Abstract:
Keywords:MEMS  Sensor system  Integrated sensor  Intelligent sensor system
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